复合分子泵技术数据 技术数据 TYFB-600复合分子泵 TYFB-1200复合分子泵 TYFB-1600复合分子泵高真空法兰（mm） 150CF 160ISO-K 200CF 200 ISO-K 250CF 250 ISO-K 前级管道法兰（mm） 40KF 40KF 50KF 抽气速（L/S） 600 1200 1600 压缩比 N2 >109 >109 >109 H2 >8×103 >1×104 >1×104 极限压强（Pa）帕 <8×10-8<5×10-7 <8×10-8<5×10-7 <8×10-8<5×10-7 电机转速（n/min） 24000 24000 24000 振动值 ≤0.1μm ≤0.1μm ≤0.15μm 启动时间（min） <4.5 <4.5 <6 建议采用的前级泵 4—8 L/S 8—15 L/S 15 L/S 冷却方式 水冷（风冷） 水冷（风冷） 水冷（风冷）风冷泵环境温度 ≤25℃ ≤25℃ ≤25℃ 水冷泵冷却水温度 ≤20℃ ≤20℃ ≤20℃ 水冷冷却水流量（L/min） 1 1 1 泵体烘烤温度 <120℃ <120℃ <120℃ 加热器功率（W） <550 <600 <700 加热器输入电压（V） AC220 AC220 AC220 安装方向 垂直±5° 垂直±5° 垂直±5° 泵重量（kg） ≈29 ≈34 ≈39