Horiba SEC-E440J金属密封质量流量控制器
硅烷、氨气,腐蚀气体
产品概述
本产品为日本原装,金属密封,专用于如硅烷、氨气、SF6等腐蚀性气体的应用。
产品已经停产,替代品为N100系列。
产品特点
电磁控制阀金属密封质量流量控制器 可用于腐蚀性干燥气体
金属密封;
电磁控制阀;
可优化响应时间;
自动归零功能;
集成报警功能;
阀电压检测功能;
电磁控制阀可完全关闭;
产品主要参
气体接触部件材料:SUS 316L不锈钢,PTFE(聚四氟乙烯)
精度:<±1.0% F.S.
线性度:<± 0.5% F.S.
重复性:<± 0.2% F.S.
流量控制范围:2 ~ 100% F.S.
响应速度:< 1秒
满量程流量
SEC-E440J: 10sccm ~ 10slpm
SEC-E450J: 20/30slpm
订购注意事项:
请提供介质名称、气体量程、接口尺寸。
本公司同时提供美国AALBORG、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器
产品实拍图
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