日本horiba Z514 3SLPM数字式质量流量控制器
多气体、多量程，原装进口
畅销型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM。
可选低成本数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可选低成本模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
SEC-Z514MX、SEC-Z524MGM
产品概述
日本horiba Z514、Z524数字式质量流量控制器属于SEC-500X系列，高性能高端数字式质量流量控制器多用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中，国内多回收、二次销售，我公司提供原装进口Z514、Z524，保修期1年。
产品特点
· 适用多气体/多量程
· 高精度：保证±1.0% S.P.(设置点)
· 高速响应：满量程1秒以内(T98) 搭载有可变 PID
· 适用于微小流量到大流量(200SLM ： SEC-Z540系列)
· 小型尺寸：适于面间距离 106mm、1.125inch(英寸)气体面板、到50SLM同一面间距离的106mm
· 超清洁类型：接气部采用全不锈钢构造，其内面进行研磨标准处理
· 和模拟MFC之间的完全互换：与数字/模拟通信相对应(SEC-Z512MG/Z522MG)
· 适用于DeviceNet™接口(SEC-Z514/Z524MG)
满量程流量SEC-Z512KX: 1/2sccmSEC-Z512X: 10sccm ~ 10slpmSEC-Z522X: 22slpm ~ 50slpmSEC-Z532KVX: 100slpm
HORIBA STEC. 工业领先商优质的稳定性
HORIBA STEC， 是一个全世界设备制造商的欢呼品牌，其中一个体现就是HORIBA STEC不断供应高质量，高稳定性产品来满足高规格的标准。
可靠供应
HORIBA STEC 通过三个主要基地为客户迅速可靠供应设备：
Kyoto，作为HORIBA STEC的总部；
Aso，HORIBA集团的主要制造工厂，以生产最新设备为特色；
以及两个位于美国（CA，TX）基地，作为超快供应商。
全球支持
全球网络机构值得信赖的支持系统
通过全世界的网络分支机构，HORIBA STEC的技术工程师为所有HORIBA STEC产品提供完全支持。
RoHS 标准
符合所有RoHS 规定
产品参数
型号*1 | SEC-Z512、Z514 | SEC-Z512MGX | SEC-Z522MGXN | SEC-Z522MGX | SEC-Z514MGX | SEC-Z524MGXN | SEC-Z524MGX | 全标准流量
(N2 转换流量) | 1/2SCCM |
10SCCM-10SLPM
| 10-50SLM | 阀门类型 | O: 通常打开 C: 通常关闭 | 完全关闭控制阀时的流量 | ≤ 2% F.S. | 流量测量范围 | 0-100% of F.S. | 精确性*2 | ±1.0%F.S. | ±1.0%S.P.(流量>25%F.S.) | ±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.) | 工作温度 | 5 -50°C (建议温度范围: 15 -45°C) | 响应 | ≤ 1 秒:超过全流量范围 | 直线性 | ≤ ±0.5% F.S. | 反复性 | ≤ ±0.2% F.S. | 工作压差值 | ≤ 300 kPa (d) | 最大工作压力 | 450 kPa (g) | 耐压 | 1000 kPa (g) | 外部泄漏率 | ≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He) | 流量设定信号 | 0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 输入阻抗 1 MΩ 或更高 | 流量输出信号 | 0 -5 V DC (0% - F.S.); 最小负荷阻力 2 kΩ 或更高 | 数字界面 | 地址功能: RS-485 (转换速度 38,400 bps) | F-Net 协议,DevceNet | 接液部材质 | 316L 不锈钢(表面抛光) | 电源 | +15V±5% 150mA | -15V±5% 150mA | 信号反应 | 模拟: D-Sub 9-pin (TOP) | 数字: 2 LAN jacks (TOP) | 标准接头*3 | 1/4 inch VCR | 1/4 inch VCR | 1.5 inch IGS | 选择: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS | 可选1.125 inch IGS | 安装方向 | 自由 |
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*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN气体类型以及全范围设定由操作者运用特殊软件改变。
*2流量精度保证温度符合 SEMI E56-1296 标准。精度是联合全范围MR以及MG数字值。
*3IGS: 完整气体系统
*SCCM 和 SLM 是表示气体流量的记号。 (mL/min, L/min, at0°C和101.3 kPa) |
本公司同时提供美国AALBORG、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器
订购注意：
请提供产品的介质名称、气体量程、接口尺寸。
如是设备备件的更换，请提供原产品的背面图片和侧面图片、顶部图片。
产品实物拍照
