特点
分辨率/重复精度为0.1/0.5um时，精度可高达(1.3+0.6L/600)um。确保垂直度（前部）达6um，直线度达4um。全/半空气浮动系统可调节气垫。带有基本统计功能，另外，通过RS-232C数据输出与带有SPC软件的电脑连接，可实现外部测量数据评估。半自动测量时具有单键操作功能。通过Digimatic工具实现数据输入。可选择多种信息语言。
测量范围 | 0-972mm |
滑杆行程 | 600mm |
分辨率（可切换） | 0.0001/0.001/0.01/0.1mm或 0.0001/0.001/0.01/0.1mm/.000001〞/.00001〞/.0001〞/.001〞 |
20℃时精度 | (1.3+0.6L/600)um L最大测量长度(mm) |
重复精度(2σ) | 平面：0.5um，孔：1um |
垂直度﹡ | 6um |
直线度 | 4um |
驱动方式 | 手动/电动(5-40mm/s,7级) |
测力 | 1N |
平衡方式 | 配重 |
浮动方式 | 带有内置空气压缩机的全/半浮动 |
