分辨率/重复精度为0.1/0.5um时,精度可高达(1.3+0.6L/600)um。确保垂直度(前部)达6um,直线度达4um。全/半空气浮动系统可调节气垫。带有基本统计功能,另外,通过RS-232C数据输出与带有SPC软件的电脑连接,可实现外部测量数据评估。半自动测量时具有单键操作功能。通过Digimatic工具实现数据输入。可选择多种信息语言。
技术参数
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测量范围 |
0-972mm |
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滑杆行程 |
600mm |
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分辨率(可切换) |
0.0001/0.001/0.01/0.1mm或 0.0001/0.001/0.01/0.1mm/.000001〞/.00001〞/.0001〞/.001〞 |
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20℃时精度 |
(1.3+0.6L/600)um L最大测量长度(mm) |
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重复精度(2σ) |
平面:0.5um,孔:1um |
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垂直度﹡ |
6um |
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直线度 |
4um |
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驱动方式 |
手动/电动(5-40mm/s,7级) |
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测力 |
1N |
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平衡方式 |
配重 |
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浮动方式 |
带有内置空气压缩机的全/半浮动 |
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显示 |
图形液晶显示 |