YA-型氩气纯化装置
工作原理
YA-型高纯氩气纯化装置采用非蒸散型锆铝16吸气剂为净化剂，在一定的温度下，吸气剂可与氩气中的微量杂质O2、N2、H2、H2O、CO、CO2、CH4等等形成稳定的化合物或固溶体，从而达到对氩气精制的目的。
主要技术指标
杂质要求：
杂质 | N2 | O2 | CO2 | CH4 | 露点 |
含量ppm | <100 | ≤15 | <5 | <5 | -50℃ |
处理气量：1-300m3/h
工作压力0.2-0.8MPa
纯氩纯度：
杂质 | N2 | O2 | CO2 | CH4 | 露点 |
含量ppm | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.5 | ≤0.5 | -70℃ |
含尘量 | ≤3.5颗/升（对于粒径≥0.5μm尘埃） |
3.净化剂寿命：每炉可处理99.99%的氩气2500-3750m3
4.操作温度：700-740℃
5.外形尺寸：宽550*深650*高1500mm
6.电源：-50H 220V
7.功耗：.2Kw
8.重量：≈220Kg
6吸气剂及5A分子筛为净化剂。在一定的温度下，吸气剂可与氩气中的微量杂质O2、N2、H2、H2O、CO、CH4等等形成稳定的化合物或固溶体，从而达到对氩气精制之目的。
技术保障措施；
1 组合式纯化工艺，分级处理。
2 净化器采用特殊结构和装料方法，流速设计合理，气流分布均匀。
3 净化炉采用特殊设计的加热构造，加热均匀、稳定。
4 采用优质管件，阀门，避免管道和阀门影响气体质量。
5 采用优质的电器元件和控制仪表，保证温度稳定，减少温度和影响。
6 净化器的活化程序，严格按照活化程序执行，根据现场实际
色谱仪，光谱仪, 质谱仪配套氩气纯化装置
本装置系采用非蒸散型锆铝1情况适当调整。
7 对用户的操作员进行设备操作培训，了解设备工作原理，掌握设备操作方法，熟悉设备的开车、停车、停电、停水处理方法。
8 对用户设备建立档案，及时提醒用户对设备进行例行检查和维护。是设备处在最佳工作状态。
本装置可与区熔硅单晶炉配套使用，也可用于激光器、溅射、真空溅射镀膜机。半导体生产、光谱仪，气相色谱仪、特殊灯泡、稀有金属加工等需要用高纯氩气的生产技术领域。
