该仪器主要用于硅材料籽晶定向，采用双工作位测试：一侧用于对晶棒端面定向，与切割机夹具配套（根据客户机床夹具设计测角仪测试台），测试好晶面后，在切割机上切成籽晶条。另一侧用上述切完籽晶后，对籽晶进行定向。 主要参数： 晶棒直径2-6英寸晶棒长度150mm籽晶直径Φ10-20籽晶长度150mm测试晶面111、100定向精度±30″显示器最小读数10″