用途:该仪器专门用硅单晶棒定向测量,与我公司生产的YX-5Z/6Z及多线切割设备配套使用,特点是,测量晶向后直接计算出晶棒的偏转角,X和Y值,并对偏晶向的要求可进行准确计算出偏晶向的角度值。结构:该仪器有X射线控制器、测角仪、记录仪、电磁光闸、微机控制、键盘、输入信息、屏幕菜单显示、数据打印、角度显示、峰值强度表等组成。计算软件采用国际通常算法,以度为单位,显示最小精度0.001度,测量精度±0.008度(±30′),能够测量直径4~10英寸,长500㎜,测量晶面为111、100等。型号:YX-6D为单测角仪,定向计算。YX-6DA为单测角仪,定向计算。全封闭防护罩。主要指标:电 源:220V 50HZ 功 率:
0.5KV 管电压:30KVP 管电流:0-5mA晶棒直径:3~12英寸晶棒长度:500㎜测量晶面:111、100定向精度:
0.008度(±30′)最小读数:
0.001度射线窗口:电磁脚踏光闸计算角度:α与β(X与Y)尺寸:长380×宽950×高120