YX-7M型X射线晶体定向仪,针对客户测量大直径、长尺寸硅棒而设计。此仪器为双工作位,一侧用于测3-8英寸晶片111、100面,还可测晶棒参考面110。另一侧用于测直径3-8英寸,长800mm晶棒111、100面。两边测角仪用户可根据本公司样品规格形状,选配不同的测角台,G系列测角仪(GA、GB、GC、GD、GE、GF)。电路指标符合YX-2参数。主要参数:项目参数说明晶棒直径5-8英寸最大12寸晶棒长度800mm 样品板面积宽42mm、高95mm 定向精度±30″ 数显读数10″ 显示器外置 尺寸1210×810×1420(mm)