型号系列:
?PrismMaster
稰rismMaster MOT
稰rismMaster HR
?PrismMaster HR MOT
稰rismMaster C
技术规格:
| PrismMaster | PrismMaster HR | PrismMaster C |
超高精度 | 径向、轴向精度优于0.05微米 |
精密旋转台 | | | 径向、轴向精度优于2微米 |
分辨率 | 0.36秒 | 0.036秒 | 0.36秒 |
编码器精度 | 0.5秒 | 0.2秒 | 0.5秒 |
总体精度 单次测量 多次测量 | 1秒 0.5秒 | 0.5秒 0.2秒 | 1.5秒 0.7秒 |
光电自准直仪,D57mm | EFL=500mm 分辨率:0.01秒 重复性:?0.1秒 | EFL=500mm 分辨率:0.01秒 重复性:?0.1秒 | EFL=300mm 分辨率:0.01秒 重复性:?0.2秒 |
测量模式 | 反射法测量棱镜任意相邻两个面的夹角,测量范围0-360? |
可扩展测量功能 | 透射法测量棱镜的偏转角及塔差、玻璃材料折射率测量 |