DSY-II型单晶寿命测试仪,用于测量硅单晶的非平衡少 数载流子寿命。 它是检验半导体单晶质量的关键设备之一。 本仪器灵敏度较高,配备有红外光源,可测量包括集成电路 级硅单晶在内的各种类型硅单晶,以及经热处理后寿命骤降 的硅单晶、多晶磷检棒的寿命测量等。 主要技术性能: * 测试单晶电阻率范围: >3Ω.cm; * 可测单晶少子寿命范围: 20μS-5000μS; * 配备光源类型:红外光源,波长:1.09μm;余辉<10 μS; 闪光频率为:20-30次/秒; * 高频振荡源:用石英谐振器,振荡频率:30MHz: * 前置放大器:放大倍数约25,频宽2 Hz-1 MHz; * 仪器测量重复误差:<±20%; * 测量方式:采用对标准曲线读数方式; * 仪器消耗功率:<25W;