ZJLS系列蒸发磁控镀膜机
设备说明： ZJLS系列真空镀膜机是立式双开门，蒸发、磁控溅射两用镀膜机，是镀制透明膜、半透明膜、不导电膜等各种功能性膜的理想设备。 设备特点：
1． 双门均配备可公自转结构，装卸工件方便快捷。2． 高效，洁净的抽真空系统。3． 科学的工艺控制系统，自动、手动任意切换。4． 合理的配气系统。5． 满足不同客户镀膜需求，灵活配置。 主要配置： ZJLS型规格ZJLS-1200ZJLS-1400ZJLS-1600真空室内尺寸Φ1200 X 1900mmΦ1400 X 1900mmΦ1600 X 2000mm抽气系统滑阀泵H-150、罗茨泵ZJP-1200、油扩散泵KC-800、维持泵2X-15充气系统复合真空计、流量控制仪、流量计显示仪电源脉冲溅射电源20KW、磁控溅射电源40KW、蒸发电源40KW、轰击电源6KW电控系统自主设计（触摸屏 PLC）控制方式，设有声光报警装置设备重量6300KG7120KG8000KG占地面积4.2 X 5 X
3.2M4.6 X 6 X
3.2M5 X 7 X
3.3M
主要技术指标：

●极限真空--6.0 X 10-4Pa

●抽气时间---5 X 10-2Pa≤8min(空载)