该磨床采用气静压砂轮电主轴，液压移动工作台，以及高精度光栅尺及数显系统，使整机达到平面度0.5um（100mm×100mm），表面粗糙度Ra0.1um的加工精度。具体技术指标如下：

一、       系统组成

1、           主要配置清单

二、技术特点：

●该磨床采用气静压砂轮电主轴、以及高精度光栅尺及数显系统，三级精密过滤器组成超精密气静压平面磨床的加工轴系。使整机达到平面度0.5um（100mm×100mm），表面粗糙度Ra0.1um的加工精度。

●工作台的左右运动机构为液压系统，采用台湾产溢流阀调节速度，具备缓冲换向调节功能。工作台前后移动采用伺服控制。磨头进给采用电动快速升降。具有操作方便、灵活可靠、无振动、精度稳定、热稳定性好、噪声低、维护保养方便等特点。

●磨床结构采用台湾磨床技术设计，磨床主要铸件均采用高级铸铁料并经完全退火，消除内应力，以确保稳定性与耐久性；磨床上下立柱经导轨研磨以确保高刚性与精密性；磨床导轨采用纵向双V式与横向一平一V式设计，滑道均贴有高级耐磨片并经人工精密铲花，以确保加工的精度，提高加工的平稳性。

●工作台前后、砂轮上下传动丝杆均采用研磨级滚珠丝杠，具有耐磨损、间隙小、精度高等特点。

●砂轮主轴采用台达系列变频控制器实现无级调速。

●该磨床在气路、水路进口处加有压力传感器，具有过流、过载、气压低于下限、以及冷却水断流等故障报警保护功能。并且具有和上位机通讯功能（RS-485）。

三、整机主要技术参数表

四、主要技术指标

㈠CS-85QD60型气静压内圆砂轮电主轴                   

1、主要技术指标    

①、最高转速：4000转/分钟

②、额定频率：133.3Hz

③、额定电压：380V

④、额定功率：0.75KW

⑤、额定电流：4.5A

⑥、电机级数：4级

⑦、安装尺寸范围：Φ82Х260

2、主要精度指：

 ①、轴头径向跳动≤0.1um

②、轴向窜动≤0.2um

③、动态全速度范围内振动V≤0.5mm/s

④、噪声全速度范围内≤50 Bp

⑤、主轴外壳最高温升≤25℃

㈢台达VFD-022V43A型中频变频控制器

  ①、额定输入电压：380V

②、额定输入频率：50Hz

③、额定输出电流：6A

④、额定输出功率：2.2KW

⑤、额定输出频率：1500Hz

㈣CS-QGL三级精密过滤器：

①、能滤掉的最小尘埃直径为0.3ｕｍ

②、除油滤为0.1PPM

③、分水率达95%以上

④、装有自动放水阀

⑤、装有压力表式调节阀