光刻机又称紫外曝光机,紫外曝光系统,掩膜光刻机,掩膜对准曝光机,曝光系统,光刻系统,光刻机,单面/双面光刻机等。
原装进口MYCRO掩膜对准曝光机,包含EM-5026M1, EM-5086, EM-5026B,EM-5026AM四个型号,是全球领先的光刻系统,广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域;并且该系列的掩膜对准曝光机已经被众多著名企业、研发中心、研究所和高校采用,作为他们光掩膜对准曝光机作为光刻系统,最重要的技术在于以下两个方面:掩模-晶圆片对准,以及将掩模版上的图案复制到晶圆片上,为下一步进行可是或者离子注入工序做好准备。作为他们光刻系统的首选;其优秀的技术、精湛的工艺和良好的服务,赢得了广大用户的青睐。
MYCRO掩膜对准曝光机/光刻系统的曝光方式,是采用可调节压力的接触式曝光,有效降低了光刻胶对掩模版的污染以及掩模版的磨损,从而提高掩模版的寿命。因此,MYCRO紫外曝光机/光刻系统以其极高的性价比而让人印象深刻。
掩膜对准曝光机/光刻系统的组件主要包含:
紫外光源构造
带托盘的晶片工作台
配CCD镜头的显微镜
监视器
掩膜夹具
紫外光源透镜
紫外光源镜片
紫外灯电源系统
操作控制器
350W紫外灯
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