设备简介
我公司研发制造的薄膜太阳能电池全自动激光刻蚀系统，是非晶硅太阳能电池生产线中重要的组成设备，其中包含了四台独立的激光刻蚀设备：透明导电膜（TCO）（P1）的刻膜设备，等离子气相沉积PECVD制造的SI膜（P2）的刻膜设备，背电极AL膜(P3)的刻膜设备，以及电池的边绝缘清边设备。本系统真正实现了无人值守的全自动化控制
设备设计原理
玻璃板在CCD定好位置后固定不动。聚焦镜头按X轴方向运动，进行玻璃板的刻膜工作，玻璃板在Y轴直线电机的带动下，沿Y轴方向运动
技术参数
直线电机能实现高速加工，运动速度能达到1.5m/秒
线宽 30~60um ±5um
相邻线平行度 ±15um
三线间距总和 300~500um ±20um
边绝缘清边 10mm
有产品
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- 太阳能电池(1)
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