激光器

Q开关YAG激光器，1064nm (不可见激光)

美国产YAG棒,英国产Q开关

泵浦源:氪灯

英国产陶瓷体

平均激光功率:可调,最大80W

频率:可调, 0.5 - 50 kHz  

准值激光:红光 

数控工作台

300 mm× 300 mm

德国/台湾产滚珠丝杆

划片速度:可编程设定,最大120 mm/ s  

精度: 0.01 mm  

划片

最大深度: 1.2 mm（半导体硅片）

最小线宽: 0.06 mm  

其它信息

输入电压: 3相5线交流380V ± 10%, 50 Hz（如电压波动太大,需配备稳压器）

输入功率:最大5 kW

尺寸: 1850 × 770 × 1230 (mm)

总重: 560 kg (3.64 m3)