产品特点:
>>观察所得为清晰无闪光正像,视场开阔
>>测量精度在同类设备中最高.
>>金属和测量显微镜功能相结合,提供了高分辨率观察和高精度测量的方法
>>各类标准工作台的尺寸最大达到400*200MM
>>快速释放装置便于在测量工件大或测量工件数量多时快速移动工作台
>>高倍放大目镜,观察倍数高达4000X
>>低噪音设计.
| 性能参数 |
型号 (XY 工作台尺寸) |
505C |
1010C |
2010C |
2017C |
3017C |
4020C |
货号* MF-A |
176-661 |
* 176-662* |
176-663* |
176-664* |
176-665* |
176-666* |
MF-B |
176-681 |
* 176-682* |
176-683* |
176-684* |
176-685* |
176-686* |
XY 工作台行程范围 |
50 x 50mm |
100 x 100mm |
200 x 100mm |
200 x 170mm |
300 x 170mm |
400 x 200mm |
Z 轴移动范围 |
150mm |
150mm |
150mm |
220mm |
220mm |
220mm |
调焦方式 |
手动调焦 (粗调焦: 30mm/rev., 微调焦: 0.2mm/rev.) |
测量方法线性编码器 |
(2 轴型: X / Y 轴, 3 轴型: X / Y / Z 轴) |
分辨率 (可转换) |
0.001mm |
0.0005mm |
0.0001mm |
.0001" |
.00005" |
.00001" |
测量精度 (20ºC 时) |
XY 轴: (2.2+0.02L)μm, L 为无负载测量长度(mm), JIS B 7153 |
指示精度 (20ºC 时) |
Z 轴: (5+0.04L)μm, L 为测量长度 (mm) |
浮动功能 |
带有快速释放功能的X 和Y 轴 |
XY 工作台台面尺寸 |
280 x 280mm |
280 x 280mm |
350 x 280mm |
410 x 342mm |
510 x 342mm |
610 x 342mm |
载物玻璃有效尺寸 |
180 x 180mm |
180 x 180mm |
250 x 150mm |
270 x 240mm |
370 x 240mm |
440 x 240mm |
旋转功能 |
— |
— |
— |
±5º (左) |
±5º (左) |
±3º (左) |
台面最大承重 |
10kg |
10kg |
10kg |
20kg |
20kg |
15kg |
最大工件高度 |
150mm |
150mm |
150mm |
220mm |
220mm |
220mm |
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