| 产品型号与性能参数 |
型号 (XY 工作台尺寸) |
505C |
1010C |
2010C |
2017C |
3017C |
4020C |
货号* MF-A |
176-661 |
* 176-662* |
176-663* |
176-664* |
176-665* |
176-666* |
MF-B |
176-681 |
* 176-682* |
176-683* |
176-684* |
176-685* |
176-686* |
XY 工作台行程范围 |
50 x 50mm |
100 x 100mm |
200 x 100mm |
200 x 170mm |
300 x 170mm |
400 x 200mm |
Z 轴移动范围 |
150mm |
150mm |
150mm |
220mm |
220mm |
220mm |
调焦方式 |
手动调焦 (粗调焦: 30mm/rev., 微调焦: 0.2mm/rev.) |
测量方法线性编码器 |
(2 轴型: X / Y 轴, 3 轴型: X / Y / Z 轴) |
分辨率 (可转换) |
0.001mm |
0.0005mm |
0.0001mm |
.0001" |
.00005" |
.00001" |
测量精度 (20ºC 时) |
XY 轴: (2.2+0.02L)μm, L 为无负载测量长度(mm), JIS B 7153 |
指示精度 (20ºC 时) |
Z 轴: (5+0.04L)μm, L 为测量长度 (mm) |
浮动功能 |
带有快速释放功能的X 和Y 轴 |
XY 工作台台面尺寸 |
280 x 280mm |
280 x 280mm |
350 x 280mm |
410 x 342mm |
510 x 342mm |
610 x 342mm |
载物玻璃有效尺寸 |
180 x 180mm |
180 x 180mm |
250 x 150mm |
270 x 240mm |
370 x 240mm |
440 x 240mm |
旋转功能 |
— |
— |
— |
±5º (左) |
±5º (左) |
±3º (左) |
台面最大承重 |
10kg |
10kg |
10kg |
20kg |
20kg |
15kg |
最大工件高度 |
150mm |
150mm |
150mm |
220mm |
220mm |
220mm |
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