标定板（面补）广泛应用于各级计量单位，三维白光焊膏检测系统，研究所及精密机械加工厂计量室和车间，对各种计量器具和仪器进行精确度检测和校准。是高精度的基准计量器具，影像测量仪器校准用。
光刻网格和圆点校正标定板是一种图形转移技术，将光刻板上的网格或者圆点图形转移到涂有光敏材料，既光刻胶的硅片上符合工业标准的光刻和检测系统的光刻板，将光首先透过光刻板，将硅片上的光刻胶曝光，从而产生可以沉积金属的蓝图。
电子束或激光束图形发生器是该工艺过程中的关键部分，这些工具用来生产光刻板，一种覆有精细金属珞形成的集成电路图形的低膨胀玻璃或者石英平板。
图形发生器采用电子束或者激光束根据这些信息在覆盖有光刻胶的基版上画出图形，然后基版在去显影，刻蚀从而产生出光刻版。
技术参数
尺寸：210x310x4.8mm/310x410x4.8mm/450x550x4.8mm
550x610x4.8mm/650x750x4.8mm
光刻版基材：Quartz, Soda Lime珞版
最小线宽：2um
接触孔：1.5x1.5um
Ca公差：+/-0.1um
均一性（范围）：0.1um
套刻精度：0.12um、
缺陷大小：0.8um缺陷密度：0.6DPSI



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