既光刻胶的硅片上符合工业标准的光刻和检测系统的光刻板,将光首先透过光刻板,将硅片上的光刻胶曝光,从而产生可以沉积金属的蓝图。电子束或激光束图形发生器是该工艺过程中的关键部分,这些工具用来生产光刻板,一种覆有精细金属珞形成的集成电路图形的低膨胀玻璃或者石英平板。图形发生器采用电子束或者激光束根据这些信息在覆盖有光刻胶的基版上画出图形,然后基版在去显影,刻蚀从而产生出光刻版。技术参数尺寸:210x310x4.8mm/310x410x4.8mm/450x550x4.8mm550x610x4.8mm/650x750x4.8mm光刻版基材:Quartz, Soda Lime珞版最小线宽:2um接触孔:1.5x1.5umCa公差: /-0.1um均一性(范围):0.1um套刻精度:0.12um、缺陷大小:0.8um缺陷密度:0.6DPSI 宏诚光学制品有限公司昆山分公司联系人: