原氮经原气阀,氮流量计，除氧器，氢气经加氢阀 ，加氢流量计计量与氮气混合，进行催化除氧。再经冷却器降温，用冷却水使气体降温，进入汽水分离器，分离水份。再经冷凝器，用冷冻水使气体深度干燥，经汽水分离器分离水份。
此时气体可以分别经阀门，进入1组吸附干燥器或2组吸附干燥器吸附干燥，然后经阀门，再经过滤器，纯氮由纯氮出口阀门13送使用地点。
氩气纯化 氮气纯化 CYAR-10 
DYC-111、高效吸附剂和高效过滤器除去氮气中的杂质氧、水汽和尘埃等。本装置采用复式流程，一组工作，同时另一组再生、待用。两组交替使用，设备可以长期连续运行。
复式流程，每一组由除氧器、冷却水、干燥器串联组成，可以一组工作，同时另一组可以进行再生处理，相互交替工作和再生，以保证设备连续运行。
1组工作时，原料氮气级阀,过原气流量计，经阀进入1组除氧器，利用脱氧剂除氧，经1组冷却器冷却后，进入 1组干燥器，利用分子筛吸附性可以同时除去水份等杂质，然后气体经阀和过滤器，再经阀，由纯气出口送入使用点。
2组再生时，取一部分纯氮气通过再生流量计，阀，同时打开加氢阀，纯氢通过加氢流量计与氮气混合后，经阀送入2组干燥器，进行加热冲洗再生，再生气经2组冷却器冷却，进入2组除氧器，利用氢气对除氧器进行再生处理，再生气经阀放空。

该复式流程，在一只吸附干燥器工作的同时，另一只吸附干燥器可以进行再生处理，再生用气取部分干燥纯氮，通过阀门，再生流量计，阀门送1组吸附干燥器或2组吸附干燥器，加热再生吸附剂，再生废气经阀门进入汽水分离器放空，水份经阀门排出。