杭州氢氮混合配器厦门微电子混合配气装置全自动三元混配器
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杭州氢氮混合配器厦门微电子混合配气装置全自动三元混配器工作原理;
本装置以氢气为原料,通过调节阀调节,加入纯氮气中,获得稳定的具有一定比例的氢氮混合气。在按需调准。
杭州氢氮混合配器厦门微电子混合配气装置全自动三元混配器设备主要组成及功能;
1 调节阀;。
2 氢分仪;。
3 智能显示调节仪;
4 电气转换器;
5 过滤减压器;。
6 混合罐;。
7 配比流量计;
杭州氢氮混合配器厦门微电子混合配气装置全自动三元混配器工艺流程;
原氢气经阀,调节阀调节加入纯氮气中,配比气经混合罐混合,混合后的配比气经氢分仪分析,显示氢的百分比含量,氢分仪把氢的百分比含量转换成4-20mA的电流信号,智能显示调节仪把氢分仪的电流信号与设定值相比较计算,计算结果转换成4-20mA的电流信号驱动电气转换器,转换成气压信号,调节阀阀芯的行程和气压信号成正比,从而达到调节混合比例的功能。