本装置将纯度大于99.9%氩气通过除氧和水份后，其氩气中的含氧量小于5ppm，水份含量小于2.6ppm，在纯化装置中采用了高效脱氧剂和高效吸附剂组成了脱氧器和吸附干燥器。它们均为复式配置，即一组工作，另一组再生及待用，工作时间为24h，而再生时间为8h，待用时间为16h。

脱氧剂是活性金属，它可以深度地与氧气充分的反应，生成氧化金属，而在氢气的作用下，该氧化金属又能完全地还原成活性金属，该金属又可再次脱除氮气中的氧气，脱氧器组成复式配置，这样脱氧器可长期连续工作，而吸附干燥器也是同样的原理，它则是吸附水份和解吸水份的重复工作。

除氧干燥阶段复式流程介绍：

Ⅰ组工作：原料氮气首先通过原料气流量计经Ⅰ组进口阀进入Ⅰ组除氧器和干燥器吸附去除原料氮中的氧、水份和部分碳系物质得到干燥的高纯氮气，再经过滤器送工艺点使用。

Ⅱ组再生：取一部分干燥的氮气通过再生流量计同时加入少量的氢气再生除氧器和干燥器，再生气通过放空阀放空，再生结束后停止加热，等待Ⅰ组工作24小时后互相切换，交替进行工作再生。

一、           技术参数：

      原料氩气：

                  1、处理气量：≥20Nm3/h

                  2、原料氩气纯度：液氩纯度＞99.9%

                  3、工作压力：≤0.8Mpa

                  4、电    源：220V

纯化后氩气纯度：

                  1、处理气量：≥20Nm3/h

                  2、氮气纯度：含氧量≤5PPm H2＜0.5ppm

                               露点≤-70℃ 颗粒100级

                  3、工作压力：≤0.8Mpa

                  4、电    源：380V   50HZ

                  5、除氧器工作温度：常温

                  6、干燥器工作温度：常温

                  7、除氧器再生温度：300℃

                  8、干燥器再生温度：350℃

9、装机功率：6KW

二、工艺流程简介：

        本装置采用复式流程，一组工作同时另一组再生，两塔交替工作，

        再生周期24小时，以保证设备的连续供气。

原料氩气首先通过除氧器吸附去除氩气中的氧气，再经过干燥器吸附去除原料氩中的水份和部分碳系化合物，得到的干燥纯度极高的氩气经过滤器送工艺点使用。