ZnO靶材
实测密度大于5.50g/cm3;
纯度大于99.99%;
相对密度大于99%。
平板状ZnO靶材尺寸600×250×20
筒状ZnO靶材:
直径:50-400mm
壁厚:5-15mm
高度:50-500mm
陶瓷靶材:氧化锌铝靶AZO 、ITO靶(氧化铟锡靶)、IGZO靶(氧化镓铟锌靶)、氧化锌靶ZnO、碳化硼靶B4C,氮化硼靶B4N、碳化硅靶SiC,石英靶材,二氧化硅靶SiO2、二氧化钛靶TiO2,氧化锆靶ZrO、氧化镁靶MgO,硫化锌靶ZnS、氧化铝靶Al2O3、五氧化二钽靶Ta2O5,五氧化二铌靶Nb2O5,氧化铁FeO靶。