AZO靶材
　　实测密度大于5.50g／cm3；
　　纯度大于99.99％；
　　相对密度大于99％。
　　平板状AZO靶材尺寸600×300×20
　　筒状AZO靶材：
　　直径：50-400mm
　　壁厚：5-15mm
　　高度：50-500mm