1. 主要技术参数
1) 总功率：9KW
2) 输入电压：380VAC
3) 相 数：三
4) 极限工作温度：1500℃；连续工作温度：≤1400℃
5) 炉膛尺寸：Φ100mm×L1000mm
6) 升温时间:≤1.5h 降温时间≤40min
7) 控温精度：±1℃
8) 冷态极限真空度：5 ×10-5pa
2. 系统构成
1) 真空炉体：
对开式柜体（冷轧钢板）
保温炉膛（保温材料采用高纯度氧化铝微晶纤维高温真空吸附成型）
2) 阀门管路：
不锈钢密封法兰及针阀密封（炉体两端）
3) 加热元件:
硅碳棒加热器（可选）
二钼化硅加热器（可选）
4) 真空炉腔:
进口刚玉管（可选）
莫来石管（可选）
5) 真空泵组:
主泵：FF-160型（600L/s）分子泵
前级泵：TRP-24型（6L/s）机械泵
7) 真空计:
电阻规（低真空测量）
电离规（高真空测量）
复合真空计（控制电源、数字显示）
