设备特点与技术指标
1、 真空获得为复合分子泵+机械泵，设备真空度在分子泵启动到400HZ后优于3*10-3pa ；30分钟
以内优于5*10-4pa；极限真空3*10-5pa。
2、 机组为可移位台式小车结构，能够满足不同位置排气的需要。
机组配备预抽排气系统，可在分子泵不停止的状态下实现换工件、预抽真空、抽高真空的排气流程，
缩短了排气时间，有效提高了工作效率。
机组配置：
l 600升风冷复合分子泵1套。
l 爱得华RV-8机械泵1台。
l CF150手动插板阀1只。
l 高真空复合真空计1套。（包括CF35电离规、KF16热偶规）
l 直径150mm*高200mm真空室1套。
l 带脚轮、围板及不锈钢台面的小车1套。
