JN-DLD系列PVD超硬质涂层（工模具）真空镀膜机型号及技术参数

性能 型号

JN-DLD-700

JN-DLD-900

JN-DLD-1000

镀膜室尺寸

Ф700×H900mm

Ф900×H1100mm

Ф1000×H1200mm

电源类型

电弧电源、灯丝电源、脉冲偏压电源

真空室结构

立式前开门结构、后置抽气系统、双层水冷腔室

真空室材质

优质不锈钢材质腔体

极限真空

6.0×10-4Pa

抽气时间
(空载）

从大气抽至8.0×10-3Pa≤15分钟

真空获得系统

扩散泵或分子泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（具体型号可根据客户的要求进行配置）

镀膜种类

硬质合金工具镀膜

电弧源

6台

6台或8台

8台或10台

偏压电源

20KW/1台

30KW/1台

30KW/1台

工件转架
转动方式

行星式公自转、变频调速（可控可调）

工件烘烤温度

室温至550℃可控可调（PID温控）

工艺气体

3路或4路工艺气体流量控制及显示系统 选配自动加气系统

冷却方式

水循环冷却方式，另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统。（客户提供）

控制方式

手动/自动一体化方式、触摸屏操作、PLC或计算机控制

整机总功率

25KW

30KW

35KW

报警及保护

对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。

设备占地面积

W2m×L3m

W2.5m×L3.5m

W3m×L4m

其他技术参数

水压≥0.2MPa、水温≤25℃、气压0.5-0.8MPa

备 注

镀膜设备的具体配置可根据客户的镀膜产品工艺要求进行设计。