一.配置
- 测量主机
样品台
样品观察部
X射线发生部
信号检测部
电源供应部
- 主机控制部
X-ray Station操作简便的控制软件
二.功能规格
- 测量元素
金属镀层是从原子序数22Ti到83Bi，当金属元素低于21Al时，用吸收法测量。
2．测量方法
薄膜标准曲线法：单层镀层膜厚测量
双层镀层膜厚测量
合金镀层膜厚测量
薄膜FP（基本参数）法：各种薄膜，最大5层，各层10种元素
选项
块体检量线法（电镀液分析）
块体FP法（材料组成分析）
- 数据处理功能
搭载Ms-Word,Ms-EXECL (使用宏支持制作检查成绩书)测量能谱与样品图象保存功能
- 标准曲线制作功能
测量条件自动设定功能
多点标准曲线
标准曲线斜率表示功能
底材修正功能
以知样品修正功能
手动输入修正功能
- 可测量厚度范围
原子序号22Ti——24Cr：0.2——20um 原子序号25Mn——40Zr：0.10——30um
原子序号41Nb——51Sb：0.2——70um 原子序号52Te——83Bi：0.05——10um
（可测量范围因元素而不同）
三.仪器规格
测量主机：
1) 仪器外部尺寸：670*850*675mm
2) 重量：120KG
3) X射线发生部
X射线管：w靶材微焦距
管电压：50KV
管电流：最大1mA可调
油箱：密封式空冷油箱
准直器：0.1mm，0.2mm（圆形）自动切换
一次滤波器：Al滤波器/OFF自动切换
4) X射线检测器：比例计数器
5) 样品观察机构
样品照明：LED灯，上方照射
亮度调节：软件自动调节控制
观察：彩色CCD摄像头
放大倍率：30x
6）对焦方式：镭射自动对焦功能利用镭射焦点自动对焦
7）工作台：260*210mm电动XY平台
