★  X射线发生系统采用了聚光导管
      由于采用了X射线聚光导管方式，可得到以往十倍以上的X射线强度，从而可以提高微小样品的膜厚测量及有害物质测量的精度。

★  无需液氮的半导体检测器 
      在进行薄膜测量与有害物质的浓度测量时，高分辨率的检测器是必不可少的。SFT9500的检测器不但可以达到高分辨率，而且可以实现高计数率。同时，由于使用了电子冷却方式，所以无需液氮。

★  能谱匹配软件（选配件）
       可瞬间识别未知样品与事先存档的X射线能谱库中哪一个样品较为接近的软件。对识别材料十分有效。

★  块体检量线软件（适用于电镀液分析） （选配件）
      可简单地测量出电镀液中主要金属的浓度。

★  绘图软件（选配件） 
       将元素面分析的结果进行等高线和色彩使用等视觉处理的软件。

★  电镀液容器（选配件）

★  各种标准物质（选配件）

SFT9500产品规格

可测量元素

原子序数13(Al)～83(Bi)

X射线聚光

聚光方式

X射线源

管电压：50kV
管电流：1mA

检测器

Vortex®检测器(无需液氮)

分析范围

Φ0.1mm、Φ5mm

样品观察

彩色CCD摄像头（附变焦功能）

滤波器

3种模式自动切换

样品室

样品平台 240(W)×330(D)mm
移动量      X：220mm  Y：150mm   Z：150mm
载重量      10kg

重量

123kg(不含电脑)

X-ray Station

台式电脑 19"LCD
(OS; MS-Windows XP®)

膜厚测量软件

薄膜FP法（最多五层，各层十种元素）
检量线法（单层、双层、合金膜厚成分）

定量分析功能

块体FP法

统计处理功能

MS-EXCEL®

报告制作

MS-WORD®

安装环境

温度：10℃～35℃(±)5℃
湿度：35%～80%

使用电源

接地三头插座 AC100、15A