检测节拍：10分钟～20分钟

检测精度：≤1×10-8 mbarl/s或SF6 10-7CC/S

真空箱结构：方形真空箱运动或圆形产品运动型

漏点检测：快速吸枪

功能：△p内外压差精确控制、快充慢充、抽真空管路防结霜装置、自动校准、SF6充注

控制：大漏检测、检测数据和检测状态显示和存储、实时背景值检测。

氦气回收率:≥95% 在线浓度检测