真空：一定空间内气体分子密度小于该地区大气压下气体分子密度——我们的系统为了降低该空间的气体分子而设计。
真空度:低压空间中气态物质的稀薄程度；气体的压力越低，真空度也越高。
真空度的单位：Pa、Torr、ATM 、Kg/cm2 、mbar 等。
真空划分：粗真空105 ～102Pa
中真空102～10-1Pa
高真高空10-1～10-5Pa
超高真空＜10-5Pa
真空系统：在设计真空系统过程中，搭建一个合理的真空获得设备，需要考虑真空度、流导、抽速、真空规的测量范围、抽除介质、环境因素、所抽空间气载等诸多因素。根据情况适用旋片泵、罗茨泵、分子泵、扩散泵、离子泵、钛升华泵等各种泵来满足要求。根据工艺为泵组搭建一套合理的控制、数据采集系统非常必要。
