1、该UV照射机时用来将切割制程中使用的UV膜的粘性减弱直至消除；

2、LED冷光源与汞灯组成的光源相比，更能实现稳定性、均匀性的照射；

3、UV照射机采用的LED冷光源是180度平射产品；

4、UV照射机采用采用扫描式平射产品，使UV膜的粘性减弱直至消除；

5、LED冷光源直射范围：254mm*254mm;

6、适合于12inch（200mm)以下晶圆使用;

7、生产产能：60片晶圆/小时（原则上）；

8、设备尺寸（长*宽*高）：426mm*415mm*150mm;

9、电源：220V，50/60HZ;

10、LED冷光源和Frame的距离：三公分;

11、小巧的桌上型系统设计；

12、采用液晶触摸屏一键式操作;

13、开启门时LED冷光源是关闭状态，可以保护人体安全；

14、LED冷光源寿命是一般汞灯寿命的十倍；

15、LED冷光源至少可以连续工作5000H（频繁启动对冷光源无副作用）；

16、一般LED冷光源不易损坏；

17、恒流源使用寿命在五年左右；

18、电器部分采用Orientalmotor, Misumi等知名品牌；

19、具有故障提示，报警等功能.