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日本株式会社KELK是制作超纯水加热器、精密温度控制器的专业厂家，原名日本小松制作所（KOMATSU），有55年的研发和制造经验。
与日本CREEN公司及其他半导体设备公司合作，KELK的超纯水加热器被广泛应用于FPD、半导体、锂电池、太阳能电池的清洗生产线中，
凭借着卓越的技术，受到了美国、欧洲、台湾和韩国等地著名半导体工厂的青睐。
超纯水加热器PWH-i系列是KELK的最新产品，量产始于2007年，加热用石英组件、纯水循环回路等关键配件均在无尘实验室完成，采用高效高寿命的卤素灯近红线加热方式，实现完全无污染、无损害、高效率加热，主要用于清洗半导体制造生产线上的硅晶片和液晶制造生产线上的玻璃基板。
产品主要特征
１. 清洁
加热部的容器采用高纯度石英，配管采用氟树脂材料，加热过程洁净、无杂质、无污染。
２. 体积纤巧
采用超薄型纤巧设计，大大节省了置放空间。
３. 高性能温度调节
采用高功率输出的卤素灯，可实现快速升温并根据流量变化来调节温度。
４. 高效率
加热效率达95%以上。
５. 安全
具备对应过高温、干烧及漏夜等异常现象的安全功能及报警功能。
主要用途
1. 清洗硅晶片。
2. 清洗液晶玻璃基板。
3. 可代替其他用氟利昂清洗的温纯水清洗。
加热单元用的高纯度石英组件，内置卤素灯，外面包裹断热材料
基本参数 | ||||||
■型号 | PWH-24N | PWH-48i | PWH-72i | PWH-96i | PWH-144i | |
■加热方式 | 采用近红外线光的辐射加热方式 | |||||
性能 | ■加热器电功率 | 24kW | 48kW | 72kW | 96kW | 144kW |
■标准流量 | 6L/min | 12L/min | 18L/min | 24L/min | 36L/min | |
■最小加热流量 | 2L/min | 5L/min | ||||
■设定温度范围 | 25～85℃ | |||||
■温度控制精度 | ±1℃ ※１ | |||||
构成 | ■流量显示范围 | 0～10L/min | 0～50L/min（不是可保证控制精度的范围） | |||
■加热器 | 卤灯，不接触液体的间接加热方式 | |||||
■加热部容器材质 | 高纯度透明石英 | |||||
■接触液体的设备及配管材质 | 氟树脂 | |||||
■安全对应功能 | 流量异常、过高温、干烧、漏夜、传感器断线、卤灯断线等、 | |||||
■外部通信功能 | RS-232C/RS-485（可选）但不能同时选择 ※２ | |||||
■外部输入输出功能 | 8-输入／14-输出信号（根据产品式样也会有不同的情况） | |||||
其他 | ■外形尺寸(mm) | W340×D850 | W340×D850 | W340×D850 | W340×D850 | W1050×D700 |
■重量 | 约90kg | 约130kg | 约160kg | 约210kg | 约410kg | |
■电源(50/60Hz) | AC200/208V | AC200/208V | AC200/208V | AC200/208V | AC200/208V | |
※１：据条件而异。 ※２：可另外讨论。 ※３：不包括突起部分。※4：电压可要求厂家变更或安装变压器
