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日本株式会社KELK是制作特殊化学液体加热器、超纯水加热器、其他精密温度控制器的专业厂家，原名日本小松制作所（KOMATSU），有55年的研发和制造经验。与日本CREEN公司及其他半导体设备公司合作，KELK的超纯水加热器被广泛应用于FPD、半导体、锂电池、太阳能电池的清洗生产线中，凭借着卓越的技术，受到了美国、欧洲、台湾和韩国等地著名半导体工厂的青睐。

日本入江株式会社和KOMATSU公司有几十年的合作关系，专注于超纯水机热气和化学液体加热器的销售，年销售量在KOMATSU公司的总销售量中占重要份额。

CS 加热器（Clean & Safe Heater) 主要用于半导体制造工程中的各类特殊化学药液的加温，这些药液包括晶片扩散前清洗液、氮化膜除去液、光刻胶剥离液等。该加热器的液体接触部全部采用高纯度石英，使用高功率的卤素灯放射型间接加热，对化学液体实现完全无污染、无损害、高效率加热。

主要用途 

1.半导体工程中的药液加热控制  

●扩散前清洗液　　　　：氨水 双氧水、盐酸 双氧水

●光刻胶酸性剥离液　：硫酸 双氧水

●氮化膜除去液　　　  ：磷酸

2.其他特殊领域的化学药液加热控制

●镀金液等镀液、清洗液等。

主要特征

◆加热器采用高纯度两层石英管构造，放射型的加热方式，石英管温度较低，不会因石英溶解和加热器破损对液体造成污染。

◆配备有专用控制器，设备的各种安全性能和故障警报功能齐全。

◆超小型设计，可以放置设备内部使用。

◆加热效率达到95%以上，极大地缩短了加热等待时间。

◆采用近红外线加热的间接型加热方式，加热用卤素灯的寿命长、耐用，更换方式简单，有连续使用10年不更换的案例。

使用案例

 产品式样：