美国CTS公司提供的CTS-6U型6kW微波等离子金刚石CVD系统具有高度可重复的真空完整性设计特点,能够在接近大气压范围内运行,用于高沉积速率的单晶工艺。它还可以合成高纯度的高均匀性和大面积的单晶和多晶。腔室、观察窗和沉积台的设计与先进的计算机过程控制相结合,具有无人值守的安全互锁功能,可以获得高可靠性、长时间稳定性。CTS-6U是最新一代CVD金刚石反应器,专为满足高产量、高质量、高性价比的生产和先进的研发要求而设计。
真空系统和反应器腔体
典型工作压力范围:6-600Torr
真空泵(用户提供或选配):双极旋片泵,泵速优于17SCFM(50/60Hz)
大气流量:<=1slm
本底真空:20mTorr(取决于真空泵)
工艺压力控制:节流阀反馈控制回路
基底温度控制:微波功率反馈或基片台位置控制回路
初级真空泵(用户提供或选配):油泵或干泵
反应器腔体材料:铝合金、铜、不锈钢
真空密封:铜、钢垫圈(CF和VCR),分级泵双氟橡胶O形圈和垫圈
压力上升漏率:<0.1Torr in 24 hrs
观察和测量端口:5 (2.75” CF窗口法兰):1 个垂直的高温计端口,4个基片水平端口,2 个 1.33” 倾斜的CF窗口法兰,集成氦气检漏端口,内置用于连接氦检漏探测器的快速连接的可切换的KF40接口
样品台直径:8.63”带水冷
基片台进入口:打开腔室盖,装载和卸载样品和腔体维护
升降机构:气垫锁定的手动升降装置
控制/软件
系统通过计算机控制软件进行操作,带有操作员GUI和控制菜单,可进行工艺开发、监控、数据记录和报警程序更新等。控制系统具有健全的工业级结构,保证高的可靠性和灵活性。
操作系统:微软系统视窗
工作模式:手动和半自动模式
特点:应用程序文件,GUI屏幕显示系统状态、工艺运行、数据记录、微波功率曲线、温度曲线等;计算机控制菜单驱动操作,带有安全互锁和故障排除功能;网络移动访问能力;未来升级扩展能力。
微波发生器
频率:2.45GHZ
微波功率:6KW(更高功率10KW可选,适应面积更大、增长率更高的工艺)
高压电源类型:高频、低纹波开关电源
波导装置:手动三级调谐、循环、虚拟加载反射功率
设备特点
双极密封和连体法兰,显著减少氮气污染
6-600Torr压力范围,稳定,高生长速率,单晶工艺
灵活的夹具可提升籽晶基片工艺的产能
更高的功率选项(10kW)适用于面积更大/增长率更高的工艺
先进的过程控制和监控,包括互联网接入系统的控制功能
一体化人机工程学设计,操作方便,使用方便
直径100mm(4英寸)的晶圆加热器提供+-10%均匀度的微晶金刚石薄膜