2-8英寸裸片、研磨片参数规格

生长方式：  直拉 CZ

       型号： N型/磷、砷、锑    P型/硼  （掺杂元素）

    晶向：  111/100

    电阻： 0.0015-20 Ω·cm（电阻范围可选、也可按照客户需要订制）

    厚度：  200-5000μm（厚度范围可选、也可按照客户需要订制）

 平整度TIR：<5μm

 弯曲度Bow:  <20μm

 翘曲度TTV:  <20μm

粗糙度nm :  <5nm

主要用途有：
1、用于同步辐射实验样品载体；
2、用于磁控溅射生长样品；
3、用于X射线分析晶体等。