序号

设备名称

序号

槽体数量

1

有机清洗台

KZIC-T-OGW-12B

12

2

HF酸洗台

KZIC-T-HFW-06B

6

3

碱清洗台

KZIC-T-AKW-06B

6

4

酸清洗台

KZIC-T-ACW-06B

6

5

金属腐蚀清洗台

KZIC-T-ETW-07B

7

6

片盒片架清洗台

KZIC-T-BFW-03B

3

7

备件有机清洗台

KZIC-T-OGW-03B

3

8

备件酸洗台

KZIC-T-ACW-03B

3

9

有机实验台

KZIC-T-OGW-04B

4