MKSJ型等离子体刻蚀机是株洲众欣科技发展有限责任公司制造的光伏太阳能电池工艺设备系列之一，它具有自动化程度高、装片容量大、生产效率高等优点，是株洲众欣科技发展有限责任公司最新研发的成果。MKSJ型等离子刻蚀机动性操作简单，维护方便，运行稳定可靠。

等离子体刻蚀是采用高频辉光放电，将反应气体分子激活成活性粒子，如原子、离子或游离基，这些活性粒子扩散到需要刻蚀部位后与被刻蚀材料进行反应，生成挥发性反应物，然后由真空系统抽走。该设备主要用于太阳能电池基片周边掺杂硅的刻蚀，也可用于半导体工艺中多晶硅、氮化硅的刻蚀、等离子清洗及去胶工艺。

技术参数

(1) 刻蚀介质 掺杂硅、氮化硅

(2) 刻蚀部位 6”方片周边

(3) 装片量 400片/批

(4) 射频电源 13.56MHZ ，100—1000W连续可调

(5) 气路系统 二路质量流量计 CF4 300 mL/min

                              O2 30 mL/min

二路浮子流量计 N2 1000 mL/min

稀释 200 mL/min

(6) 抽气系统 2X-15机械泵，工作压力自动控制

(7) 载片架旋转 0-50转/0min可调

(8) 刻蚀速率 氮化硅 50nm/min  掺杂硅 200nm/min

(9) 批间时间 25min

(10)工艺过程 由PLC全自动控制，直接在触摸屏上操作

电气指标

进线要求；三相+中相+地线，高频独立地线

输入电压：380VAC 频率； 50HZ

额定功率：3.5KW