JKSL-3320型高温动态扩散炉是株洲众欣科技发展有限责任公司制造的高温动态扩散炉系列产品之一。专为高端客户的高效晶硅电池生产线设计，比传统扩散炉节源30%以上，双模控温，适用高方块电阻。是上海猛特金属制品有限公司最新研发的成果。JKSL-3/320高温动态扩散炉操作简单，维护方便，运行稳定可靠，对外部电网的干扰小，效率高，它满足用户对改善生产工艺的迫切需要。它具有以下特点：
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在进行工艺时采用最新研发推舟的左右摆动搅动石英管内的工艺气体，使工艺气体能更好的均匀的扩散到硅片表面；
● 工艺曲线的自动运行控制；
● 可保存多条工艺曲线，每条曲线可设置多步；
● 自动运行中可暂停/继续运行；
● 工艺中可强制跳到下一工艺步运行；
● 智能升降温斜率控制；
● 系统故障的检测与报警；
● 智能悬臂推拉舟控制；
● 工艺气体的程序控制（气动阀/质量流量控制器）；
● 停电后断点继续运行；
● 全中文Windows操作界面，可编辑参数，操作方便。
1.2应用范围和领域
主要用于太阳能电池硅片扩散、氧化、掺杂；可用于半导体器件、集成电路制造过程中各种扩散、氧化、退火及合金工艺；也可能适用于对其他材料的特殊温度处理。
设备指标
(1) 炉膛有效内径： Ф320mm (适用于6″方片、8″圆片)
(2) 温度控制范围： 400～1100℃
(3) 恒温区长度及精度： ≤±1℃/1100mm （801～1100℃）
≤±1.5℃/1100mm （400～800℃）
(4) 单点温度稳定性： ≤±1℃/4h
(5) 升降温速率可控范围
爬升率: 15℃/min (最大)
下降率: 5℃/ min (最大)
(6) 具有超温、断偶、短路报警和保护功能。
(7) 具有自动斜率升降温及恒温功能。
(8) 净化工作台净化级别： 100级
（环境1000级）
(9) 送片方式：
采用SiC桨悬臂自动送片机构，舟速5～500mm/min连续可调；到位精度： ≤±5mm
(10) 工艺过程由触屏工控计算机全自动控制，直接在触摸屏上操作。
(11) 每管可存储100条工艺曲线。
电气指标
输入电压：380VAC
额定功率：40KW （单管）
额定输出电压：72VAC、170VAC、63VAC（单管）
额定输入电流：50A （单管）
额定输出电流：115A（单管）
