技术参数
■1、加工工件尺寸: |
□156XL840 mmX1根 |
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□156XL420 mmX2根 |
■2、主辊尺寸(外径X槽宽): |
∮350X880 mm |
■3、钢丝行走方式: |
往返行走或单向行走 |
■4、钢丝线速度: |
max 900 m/min |
■5、切片进给速度: |
0.1-2.5 mm/min |
■6、快速进给速度: |
50-500 mm/min |
o■7、钢丝存储量: |
∮0.11 mmX800 km |
o■8、气压: |
0.4~ 0.6 MPa |
■9、气体量: |
600NL/min |
■10、冷水流量: |
210L/min |
■11、砂浆罐容量: |
400L |
■12、机床外形尺寸: |
4980X3050X2950mm |
■13、机床净重: |
19000kg |
■14、机床总功率: |
186Kw |
设计要求切割不同厚度的晶片中心厚度公差TTV不高于15微米,总厚度公差 TV不高于40微米,损伤层不高于25微米。以上指标均达到世界先进水平。
设备特点及优势
■1。机床动力电源为三相交流380V,50HZ,无需配380/200变压器。
■2。机床的主辊、收线轮、放线轮、导轮与日本PV800H完全相同。
■3。配有超级电容,保证在瞬间低压或停电时机床正常停机不断线。
■4。工件的夹紧采用自动夹紧方式,锁紧快,效率高,锁紧力稳定可靠。
■5。采用不锈钢外观件,方便砂浆的清洗。
■6。主轴的轴承采用进口原装轴承,精度高,寿命长 。
■7。工件进给的导轨和滚珠丝杆采用日本THK原装进口件,保证了进给精度的稳定性和可靠性。
■8。张力控制在±0.5N内。
■9。电气控制采用美国罗克韦尔控制系统,系统稳定可靠、精度高。其它低压电器和控制器件全部采用进口元器件,为整个电气系统的可靠性提供了保证。
■10。砂浆温度和流量控制都采用进口仪表控制,流量控制在±1L/min内,温度控制在±1℃内。
■11。系统具有刚线断线自动报警功能。
■12。具有智能动态监控人机对话功能,可以显示各种故障提示,可以显示砂浆温度、砂浆流量、钢线速度、张力变化、进给速度的实时曲线,给分析硅片质量提供了依据。