■ 技术参数
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电器总容量 |
96KW |
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主电机功率 |
45KW 1450r/min |
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最大加工工件尺寸 |
Ф6″×L320×2根 |
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Ф8″×L320×2根 |
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钢丝线速度（MAX） |
单向1000m/min 双向600 m/min |
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钢线直径 |
0.11mm |
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切割速度 |
0~5(可调)mm/min |
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快进、快退速度 |
50～500mm/min |
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设备尺寸 |
2800mm×2400mm×2900mm |
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设备重量 |
6700kg |
设计要求切割不同厚度的晶片中心厚度公差TTV不高于15微米，总厚度公差 TV不高于40微米，损伤层不高于25微米。以上指标均达到世界先进水平。
■ 设备特点及优势
1．新颖的主轴设计能够满足直径8英寸/长度320mm及6英寸/长度320mm双根硅棒的切割要求，主线滚的安装尺寸与日本同类机型相同，保证了通用性。
2.全套高品质的进口高端数控系统，实现八轴联动、整机数据反馈及人机对话。
3.高精度的进口张力控制系统保证了钢线往复运转中的平稳可靠，为整机的可靠性提供保障。
4.整机恒温，控制了机床在高速运转中的精度变化，及砂浆在工作过程中的温度释放。
5.人性化的气液转化系统设计，使工件的卡紧/放松更为方便可靠。
