规格

6寸（150MM+/-0.2MM）

8寸（200MM+/-0.2MM）

12寸（300MM+/-0.2MM）

厚度

标准厚度（650UM+/- 25UM）

标准厚度（725UM+/- 25UM）

标准厚度（775UM+/- 25UM）

定位方式

平口(Flat)

V型（Notch）

V型（Notch）

表面状况

无划痕和粘污物

无划痕和粘污物

无划痕和粘污物

表面处理方式

单面抛光，背面为硅本色。（无螺纹镜面）

单面抛光，背面为硅本色。（无螺纹镜面）

双面抛光

边缘

无崩边，隐裂，微裂

无崩边，隐裂，微裂

无崩边，隐裂，微裂

其他

TTV+TIR+Warp ≤40UM

TTV+TIR+Warp ≤40UM

TTV+TIR+Warp ≤40UM

包装

晶圆盒/真空包装

晶圆盒/真空包装

晶圆盒/真空包装