打火机镀膜设备- 钟表多弧离子镀膜设备,打火机多弧离子镀膜机是一种高效、无害、无污染的离子镀膜设备,具有沉积速度快、离化率高、离子能量大、设备操作简单、成本低、生产量大的优点。
ZCK-1150多弧离子镀膜机主要技术参数:
1)镀膜室尺寸:1150*1200
2)真空系统:油扩散泵两台,2x-70升旋片泵一台,罗茨泵一台,2x-15升旋片泵一台
3)极限真空:5*10-4pa
4)抽气时间:从大气抽至5*10-3pa小于20分钟(空载)
6)多弧源:8个*95,功率:8*2KW
7)磁控溅射平面靶(无)
8)磁控中频溅射圆柱靶2支*30KW
9)偏压:20KW
10)温度控制:用温控仪控制,热电偶测量炉内温度
11)真空室加热:6根加热管
12)工件 转架:9轴公自转
13)充气方式:一路质量流量控制
14)设备总功率:80KW
15)设备总重量:约4T
16)设备总占地面积:16M2
17)使用220V/380V电压
18)用于冷却的水亦以软水为宜,水压为2kg/cm2
19)气源4-6kg/cm2,选用0.1立方的压缩机为宜
结构说明:
本机由全全不锈钢焊接成形。真空室为双层水冷套。机组配置为扩散泵两台,罗茨泵一台,升粗抽泵一台和升维持泵一台。配8个弧源靶,4个圆柱靶,工件为14轴装夹方式,阀门控制为拨动控制。