1、洁净室 clean room
空气悬浮粒子浓弃受控的房间，它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子
室内其它有参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
2、人身净化用室 room for cleaning human body
人员在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间
3、物料净化用室 room for cleanyg material
物料在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间
4、洁净度 cleanliness
以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分的洁净程度
5、单向流 unidirectional airflow
沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流
6、非单向流 non-unidirectional airflow
凡不符合单向流定义的气流
7、洁净工作区 clean working area
指洁净室内离地面高度0.8~1.5m（除工艺特殊要求外）的区域。
8、检漏试验
检查空气过滤器及其与安装框架连接部位等的密封性试验
9、防静电环境 ESD controlled environment
能防止静电危害的特定环境，在这一环境中不易产生静电，静电产生后易于消散或消除，静电噪声难以 传播
10、生物洁净室 biological cleanroom
洁净室空气中悬浮微生物控制在规定值内的限定空间
11、浮游菌 airborne viable particles
洁净室悬浮在空气中的菌落
12、沉降菌 colony forming unit
洁净室降落在培养皿上的菌落