1.特点:多弧离子镀膜设备是一种高效、无害、无污染的离子镀膜设备,具有沉积速度快、离化率高、离子能量大、设备操作简单、成本低、生产量大的优点。该设备采用氮化钛表面掺金技术,形成离子金膜层,耐磨性非常好,广泛用于各种高档装饰膜层
| 参数 | 型号 | 数量 |
真空室结构 | 立式前开门,双层或冷却槽冷却 |
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真空室尺寸 | Ф1000×1200 |
| 1 |
抽气速率 | 1×105Pa~3×10-3Pa≤15min |
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极限真空 | ≤8×10-4Pa |
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系统配套 | 维持泵 | 2X-15 | 1 |
机械泵 | 2X-70 | 1 |
扩散泵 | KT-600 | 1 |
| 罗茨泵 | ZJP-300 | 1 |
工件系统 | 工件系统 行星式公自转形式(转轴数量8轴,可自定数量) |
| 8 |
加热方式 | 边缘安装不锈钢加热管加热 |
| 4 |
离子轰击 | 20KW逆变偏压 | PLS-20KW | 1 |
弧靶 | 40-200A可调 | TIG-250 | 8 |
磁控靶数量 | 平面靶 |
| 2 |
磁控电源 | 10KW磁控电源 | MS-10KW | 1 |
工作方式 | PLC半自动控制或PC+PLC全自动控制方式 |
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工作气体 | Ar N2 O2 |
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总功率 | 45KW |
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压缩空气 | 0.4~0.8MPa |
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水冷系统 | 水压/水温:≤25℃/≥0.25MPa(用户自备) |
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2.性能:真空电弧离子的原理是基冷阴极自持弧光放电结合脉冲技术及磁控溅射技术,使沉积粒子细化,膜层的各项性能得以提高。它不仅能在金属制品表面进行镀膜而且能在非金属制品表面制品上进行镀膜,可以镀金属膜、氮化钛、碳化钛、氮化锆、氮化铬、及钛、镍、铬、铜、等化合物膜、多层超硬膜、氮化钛掺金膜和合金膜,并能在极短的时间内完成全部加工工艺过程,是一种多功能高效镀膜设备
3.广泛应用于工具、模具的超硬涂层,高尔夫、制表、酒店用品、卫生洁具、灯具、眼镜镜架、五金制品的门锁、手表零件、合页、五金等表面处理。