粉尘过滤器
大成技研株式会社がお届けする“気体の粉体除去”とは、主に半導体?液晶製造装置（イオン注入?ＣＶＤ?エッチング等）から排気されるガス反応生成物（微粉体）を除去する装置です。
特にイオン注入やＣＶＤ装置から排出される１μｍ以下の反応生成物をうず流旋回吸着と高機能マグネットエレメントにより完全にシャットアウトします。本装置はエレメントの圧力損失がほとんどなく、真空ポンプの前段と後段の両方に使え、既存のフィルターでは除去できない微粉体をたやすく処理する画期的な粉体トラップです。大幅なメンテナンスの工数削減と生産性の向上が約束されます。
トラパックとは？
トラパックは半導体、液晶製造装置用の排ガス中の反応生成物（微粉体）を除去するパウダー除去トラップです。構造はうず流旋回吸着タイプ、マグネットエレメントタイプ（トラパックエレメント）と２つを組み合わせたコンビネーションタイプの３種類があります。特にコンビネーションタイプはエッチング装置やＣＶＤ装置から排出されるサブミクロンの微粉体を完全にシャットアウトします。
システムの構成（真空ポンプの前段への設置）
導入効果
排ガス配管のクリーン化
フォワーラインバルブの保守の削減
真空ポンプの故障防止
生産性の向上
フォワーラインのメンテナンスの削減
構成
システムの構成（真空ポンプの後段への設置）
導入効果
排ガス配管のクリーン化
真空ポンプの故障防止
排ガス除去装置の負荷軽減
生産性の向上
エキゾーストラインのメンテナンスの削減
構成
トラパックの概要
エレメントタイプ うずタイプ コンビネーションタイプ
外観
＆
構造
トラパック
エレメント ○ ― ○
うずエレメント ― ○ ○
設置の場所 真空系?排気系 真空系?排気系 排気系
圧力損失 微小 ≒ゼロ 微小
用途 対象プロセス インプラ?エッチング CVD?エッチング CVD?エッチング
ガス BF3, AsH3, PH3
BCL3, CL2 SiH4, NH3, NF3
BCL3, CL2 SiH4, NH3, NF3
BCL3, CL2
トラパックのエレメント
トラパックのエレメントは反応生成物（粉体）をエレメント繊維表面に吸着させる特殊な性質をもつ高機能性イオン交換繊維の特殊加工品です。成型体の“トラパックエレメント”と布状の“うずエレメント”があります。
トラパックエレメント うずエレメント
トラパックエレメント
トラパックエレメントは形状と密度により種類が豊富です。うずエレメントもＮＥＷトラパックの機種と仕様により規格が異なります。詳しくはお問い合わせ下さい。
エレメントタイプ 機種とエレメント形式 規格 エレメント仕様
機種 エレメント形式
トラパックエレメント TU-200 EL 高密度エレメント
中密度エレメント
低密度エレメント 標準仕様（排気取付）
真空仕様（真空取付）
TU-250 FL
TU-500 GL
TU-1000
TU-500W HL
TU-1500
TU-2100
TU-3100 IL
TU-4100 KL
うずエレメント TU-25LM ASD-25LM ３ うず規格
４ うず規格
５ うず規格
６ うず規格
TU-50LM ASD-50LM
TU-65LM ASD-65LM
TU-85LM ASD-85LM
TU-1500 ASD-1500
TU-2100 ASD-2100
TU-3100 ASD-3100
TU-4100 ASD-4100
吸着のメカニズムと実績
マグネットファイバー機能
プラスとマイナスのイオン交換繊維の表面に反応生成物（粉体）が吸着されます。やがて粉体は積層しながらマグネットファイバーを太らせます。
トラパックエレメント使用後
トラパックエレメントは反応生成物（粉体）をエレメント表面から深層部まで隈無く捕捉。自重の10倍以上の粉体を捕集します。
うずエレメント使用後
うずエレメントはうず構造物（うず加工板）の中に装着されております。排ガス中の反応生成物は中央に向かう、うず旋回流の中で衝突をくりかえし吸着捕集されます。
特徴
トラパックエレメント
微細反応生成物（微粉体）を除去
エレメントが低密度で、メッシュ空隙は大きい
粉体はエレメント表面と内部に積層していく
うずエレメント
うず構造体のため、粉体は長期間圧力損失を受けない
うず数やうずピッチの組合せによりほぼ粉体をシャットアウトする
粉体は装着されているうずエレメント表面に積層していく
製品一覧
気体の粉体除去装置「トラパック」は、エレメントタイプ、うずタイプ、コンビネーションタイプをラインアップしています。
また、「トラパック」を最適に収納する「トラパックキャビネット」も取り揃えておりますので、お客様のニーズに合わせて、お選びいただけます。
エレメントタイプ
反応生成物（粉体）をエレメント表面から深層部まで隈無く捕捉。自重の10倍以上の粉体を捕集する「トラパックエレメント」を採用しています。
うずタイプ
うず構造物（うず加工板）の中に装着されております。排ガス中の反応生成物は中央に向かう、うず旋回流の中で衝突をくりかえし吸着捕集する「うずエレメント」を採用しています。
コンビネーションタイプ
「トラパックエレメント」と「うずエレメント」を重層的に採用することで、２種類のエレメントのメリットを実現します。
エレメントの詳細
トラパック/ TRAPPACK（エレメントタイプ）
真空仕様、排気仕様に対応した、気体の粉体除去装置のベーシックモデル。
外観と構造
特徴
微細反応生成物（微粉体）を除去
エレメントが低密度で、メッシュ空隙は大きい
粉体はエレメント表面と内部に積層していく
主要用途
仕様
インプラ ?一次エレメント/トラパックエレメント
エッチング ?二次エレメント/無
?取付位置/真空、排気
TU-KN100
（エレメントタイプ）
主要用途：汎用
エレメント形式：DLL
接続口径：NW25
サイズ：D90mm×H195mm
重量：1.9kg
TU-KN200
（エレメントタイプ）
主要用途：汎用
エレメント形式：ELL
接続口径：NW40
サイズ：D140mm×H210mm
重量：4.6kg
TU-KN500
（エレメントタイプ）
主要用途：汎用
エレメント形式：GLL
接続口径：NW40
サイズ：D210mm×H260mm
重量：4.9kg
TU-KN500W
（エレメントタイプ）
主要用途：汎用
エレメント形式：HLL
接続口径：NW40
サイズ：D210mm×H390mm
重量：6.8kg
TU-200
（エレメントタイプ）
主要用途：インプラ
エレメント形式：EL
接続口径：NW25
サイズ：D210mm×H210mm
重量：5.3kg
TU-250
（エレメントタイプ）
主要用途：インプラ
エレメント形式：FL
接続口径：NW40
サイズ：D210mm×H295mm
重量：6.5kg
TU-500
（エレメントタイプ）
主要用途：インプラ?エッチング
エレメント形式：GL
接続口径：NW40
サイズ：D300mm×H267mm
重量：10.0kg
TU-500W
（エレメントタイプ）
主要用途：インプラ?エッチング
エレメント形式：HL
接続口径：NW40、NW50
サイズ：D300mm×H415mm
重量：13kg
TU-1000
（エレメントタイプ）
主要用途：インプラ?エッチング
エレメント形式：GL
接続口径：NW40、NW50
サイズ：D300mm×H555mm
重量：16.5kg
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ニュートラパック/ NEW TRAPPACK（うずタイプ）
トラパックをさらに進化させ、エレメントにうずタイプを装備した気体の粉体除去装置。
外観と構造
特徴
うず構造体のため、粉体は長期間圧力損失を受けない
うず数やうずピッチの組合せによりほぼ粉体をシャットアウトする
粉体は装着されているうずエレメント表面に積層していく
?主要用途/ CVD、エッチング ?一次エレメント/うずエレメント ?二次エレメント/無
?取付位置/真空、排気
TU-50LM /LMJ
（うずタイプ）
主要用途：エッチング?CVD
エレメント形式：ASD-50うず
接続口径：NW40、NW50
サイズ：□370mm×H707mm
重量：53kg / 68kg
TU-65LM /LMJ
（うずタイプ）
主要用途：エッチング?CVD
エレメント形式：ASD-65うず
接続口径：NW40、NW50
サイズ：□400mm×H1013mm
重量：94kg / 99kg
TU-85LM /LMJ
（うずタイプ）
主要用途：エッチング?CVD
エレメント形式：ASD-85うず
接続口径：NW40、NW50
サイズ：□430mm×H1064mm
重量：100kg / 115kg
TU-95LM /LMJ
（うずタイプ）
主要用途：エッチング?CVD
エレメント形式：ASD-95うず
接続口径：NW40、NW50
サイズ：□485mm×H1064mm
重量：145kg / 160kg
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ニュートラパック/ NEW TRAPPACK（コンビネーションタイプ）
トラパックをさらに進化させ、エレメントにコンビネーションタイプ（うずタイプ＋エレメントタイプ）を装備した気体の粉体除去装置。
外観と構造
特徴
微細反応生成物（微粉体）を除去
エレメントが低密度で、メッシュ空隙は大きい
粉体は、うず部とエレメント部に積層していく
?主要用途/ CVD、エッチング ?一次エレメント/うずエレメント
?二次エレメント/トラパックエレメント ?取付位置/排気
TU-1500 / J
（コンビネーションタイプ）
主要用途：エッチング?CVD
エレメント形式：HL＋うず
接続口径：NW40、NW50
サイズ：□370mm×H707mm
重量：49kg / 65kg
TU-3100 / J
（コンビネーションタイプ）
主要用途：エッチング?CVD
エレメント形式：IL＋うず
接続口径：NW40、NW50
サイズ：□400mm×H1013mm
重量：93kg / 98kg
TU-4100 / J
（コンビネーションタイプ）
主要用途：エッチング?CVD
エレメント形式：KL＋うず
接続口径：NW40、NW50
サイズ：□430mm×H1064mm
重量：104kg / 147kg
TU-5100 / J
（コンビネーションタイプ）
主要用途：エッチング?CVD
エレメント形式：KL＋うず
接続口径：NW40、NW50
サイズ：□485mm×H1064mm
重量：110kg / 127kg
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トラパックキャビネット
圧力警報、漏電ブレーカー等の安全対策機能を装備したトラパック専用キャビネット。
KA-1500
主要用途：半導体プロセス
接続口径：NW40、NW50
サイズ：W650mm×L450ｍｍ×H1060mm
重量：56kg
KA-3100
主要用途：半導体プロセス
接続口径：NW40、NW50
サイズ：W760mm×L480ｍｍ×H1450mm
重量：82kg
