1.特点:特点:中频双靶交替工作,不易中毒,适于镀制各种高质量的光滑的超硬膜层,及各种特种颜色的装饰膜层,(不但可以镀氮化钛、氮化锆、氮化铝钛、氮化铬等等氮化物膜层,生成膜层光滑细腻,结合力高,硬度好,生成膜层速度快。
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| 参数 | 型号 | 数量 |
真空室结构 | 立式前开门,双层或冷却槽冷却 |
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真空室尺寸 | ф800×1000 |
| 1 |
抽气速率 | 1×105Pa~3×10-3Pa≤15min |
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极限真空 | ≤8×10-4Pa |
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系统配套 | 维持泵 | 2X-15 | 1 |
机械泵 | 2X-70 | 1 |
扩散泵 | KT-500 | 1 |
工件系统 | 工件系统 行星式公自转形式(转轴数量8轴,可自定数量) |
| 8 |
加热方式 | 边缘安装不锈钢加热管加热 |
| 4 |
离子轰击 | 20KW逆变偏压 | PLS-20KW | 1 |
弧靶 | 40-200A可调 | TIG-250 | 3 |
磁控靶数量 | 平面靶或圆柱靶 |
| 2 |
磁控电源 | 20KW中频电源 | MF-20KW | 1 |
工作方式 | PLC半自动控制或PC+PLC全自动控制方式 |
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工作气体 | Ar N2 O2 |
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总功率 | 35KW |
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压缩空气 | 0.4~0.8MPa |
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水冷系统 | 水压/水温:≤25℃/≥0.25MPa(用户自备) |
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2.适应广泛镀膜靶材,无论金属还是介质、化合材料都可以利用溅射工艺进行镀膜及成膜,使膜层附着力、致密度、重复度及颜色一致性好等特点。可镀制TiN、TiC、TiCN、TiAIN、CrN、CU、AU、金刚石膜(DLC)、装饰膜等非金属及其化合物的膜层和复合膜层。
碳化钛、碳化锆等等氮化物和炭化物膜层,钛、锆、金、银、铝、铜等等原金属膜层,而且可以SIO2、SI3N4、AI203、Sn02、ZnO、Ta205、TI02等等膜层)炉内各种材料离化率为100%。
3.广泛应用于镀制各种工具和汽车配件硬膜及各种洁具、家具配件、手表配件等等表面特种颜色膜层装饰。