氧化硅(CMP)抛光液
针对蓝宝石的特点,GRISH研发出独特配方,产品具有粒度分布集中、纯度高、抛光速率高的优势,广泛应用于蓝宝石的粗抛和精抛。
产品规格:
项目 | SO-80-PF | SO-100-PF | 测试方法 |
粒度(nm) | 70-90 | 90-110 | 激光粒度仪 |
颗粒形貌 | 球形 | 球形 | SEM /TEM |
pH | 10.5±0.5 | 10.5±0.5 | pH计 |
粘度(cps) | <10 | 粘度计 |
包装规格 | 500ml、25Kg、200Kg |
产品特点:
1.粒径均一(粒径分布窄,形貌呈正球状);
2.抛光速率快(特殊配方,PH值稳定不变);
3.高平坦化(表面质量Ra < 0.2nm, TTV < 3 u);;
4.循环次数较多;
5.可低温抛光(35℃以下)。
应用范围:
广泛用于多种材料纳米级的化学机械抛光。如,蓝宝石材料、硅片、不锈钢、铝镁合金、化合物晶体等的抛光加工。
产品图片:
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