技术参数: 型 号 | TomoScope | TomoCheck | TomoScope HV Compact | TomoScope HV | 最大测量工件尺寸(直径) | 90mm | 90mm | 350mm | 350mm | 最大测量高度 | 200mm | 200mm | 350mm | 500mm | 最大允许误差 (用CT传感器) | (4,5+L/75) µm | (1,5+L/500) µm | (4,5+L/75) µm | (4,5+L/75) µm | 最大允许误差(E1:单轴精度) | (2,5+L/120) µm | (0,5+L/900)µm | (2,5+L/120) µm | (2,5+L/120) µm | (E2:平面精度) | (2,9+L/100) µm | (0,7+L/600) µm | (2,9+L/100) µm | (2,9+L/100) µm | (E3:空间精度) | (4,5+L/75) µm | (1,5+L/500) µm | (4,5+L/75) µm | (4,5+L/75) µm | X射线源 | 130kV(150,190kV可选) | 130kV | 225kV | 225kV(450kV可选) | X射线探测器像素 | 1024x1024 | 1024x1024 | 1024x1024 | 2048x2048 | X射线探测器尺寸 | 50x50mm | 50x50mm | 200x200mm | 400x400mm | 分辨率 | 0.1µm | 0.1/0.01µm | 0.1µm | 0.1µm | 定位速度 | 150mm/s | 60mm/s | 150mm/s | 150mm/s | 加速度 | 300mm/s2 | 250 mm/s2 | 350 mm/s2 | 350 mm/s2 | 工作台承重 | 2kg | 10kg | 40kg | 40kg | 电源 | 230V +/-10% | 3x400V/N/PE | 3x400V/N/PE | 3x400V/N/PE | 气压 | 7-10bar | 7-10bar | 7-10bar | 7-10bar | 仪器自重 | 3000kg | 6000kg | 8500kg | 11000kg |
1). 依据标准ISO
10360和VDI/VDE 2617,使用TP200, WFP测量或CT传感器选择同等及更高精度探针修正或光学传感器选用同等及更高精度探针修正 2).
Temp: 20℃±2k, △=1K/h m≤2kg |